Bạn đang đọc : Sputtering là gì ?
Vật lý của tạo
Bạn đang đọc: Sputtering là gì? – Chickgolden
Tạo vật lýđược thôi thúc bởi Đà trao đổi giữa những ion và nguyên tử trong những tài liệu tiềm năng, do va chạm .
Các ion cố đặt ra dãy núi Cascade va chạm trong tiềm năng. Khi dãy núi Cascade những bật lên và đến được mặt tiềm năng với một nguồn nguồn năng lượng lớn hơn nguồn nguồn năng lượng mặt phẳng của ràng buộc, nguyên tử sẽ bị đẩy ra, và tiến trình này được gọi là tạo. Nếu tiềm năng là mỏng mảnh trên một quy mô nguyên tử, cascade va chạm trọn vẹn hoàn toàn có thể tiếp cận mặt sau của những tiềm năng và nguyên tử trọn vẹn hoàn toàn có thể thoát ra khỏi nguồn nguồn năng lượng mặt phẳng của ràng buộc ” trong truyền tải “. Số trung bình của những nguyên tử bị đẩy ra từ tiềm năng cho mỗi sự cố ion được gọi là hiệu suất sputter và nhờ vào vào góc nhìn sự cố của ion, nguồn nguồn năng lượng của những ion, khối lượng của những nguyên tử ion và tiềm năng, và nguồn nguồn năng lượng ràng buộc trên mặt phẳng của những nguyên tử trong tiềm năng. Đối với một tiềm năng tinh xu thế của những trục crystal so với mặt phẳng tiềm năng là có đối sánh tương quan .
Các hạt chính cho quy trình thổi hoàn toàn có thể được phân phối trong một số ít cách : ví dụ của một plasma, mộtmã nguồn ion, một máy gia tốc hoặc bằng một vật tư phóng xạ phát ra hạt anpha .
Một quy mô để diễn đạt tạo trong chủ trương cascade cho vô định hình phẳng tiêu là quy mô nghiên cứu và điều tra và nghiên cứu và phân tích của Thompson. Một thuật toán mô phỏng tạo dựa trên một điều trị cơ học lượng tử gồm có cả điện tử tước tại nguồn nguồn năng lượng cao được tiến hành trong những chương trình cắt .
Một chủ trương khác nhau của vật chất tạo là nhiệt tạo cành. Điều này trọn vẹn hoàn toàn có thể xảy ra khi chất rắn đặc đủ, và sau đó đến ion nặng đủ, có va chạm xảy ra rất thân thiện với nhau. Sau đó giao động nhị phân va chạm không còn hợp lệ, nhưng thay vì quá trình collisional nên được hiểu như thể một quá trình khung hình nhiều. Va chạm sum sê khiến một cành nhiệt ( cũng được gọi là nhiệt cành ), thực ra tan ra những tinh thể ở địa phương. Nếu khu vực nóng chảy là đủ gần để một mặt phẳng, một số lượng lớn của những nguyên tử trọn vẹn hoàn toàn có thể sputter do dòng chảy của chất lỏng để mặt phẳng và / hoặc microexplosions. Nhiệt độ tăng đột biến tạo là quan trọng nhất cho những ion nặng ( nói Xe hoặc Au hoặc cụm ion ) với nguồn nguồn nguồn năng lượng trong khoanh vùng khoanh vùng phạm vi keV-MeV bắn phá chi chít nhưng những sắt kẽm sắt kẽm kim loại mềm với một điểm nóng chảy thấp ( Ag, Au, Pb, vv ). Nhiệt tăng đột biến tạo thường tăng nonlinearly với nguồn nguồn năng lượng, và trọn vẹn hoàn toàn có thể cho những ion cụm nhỏ dẫn đến kịch tính thổi sản lượng mỗi cụm Order of 10,000 .
Tạo vật lý có một ngưỡng cũng xác định năng lượng tối thiểu bằng hoặc lớn hơn năng lượng ion mà việc chuyển giao năng lượng tối đa của ion với một nguyên tử mẫu bằng năng lượng liên kết của một nguyên tử trên bề mặt. Ngưỡng này thường là một nơi nào đó trong khoảng 10 – 100 eV.
Tạo khuyễn mãi thêm trọn vẹn hoàn toàn có thể xảy ra khi khởi đầu khi một tiềm năng vững chãi multicomponent ném bom và không không thông dụng trạng thái rắn. Nếu việc chuyển giao nguồn nguồn năng lượng hiệu suất cao hơn để một trong những thành phần nhắm tiềm năng, và / hoặc nó ít can đảm và mạnh mẽ và can đảm và mạnh mẽ là ràng buộc để chất rắn, nó sẽ sputter hiệu suất cao hơn so với người khác. Nếu trong sắt kẽm kim loại tổng hợp AB A thành phần sputtered hay, mặt phẳng của chất rắn sẽ, trong đợt bắn phá lê dài, trở thành phong phú chủng loại trong những thành phần B, do đó làm tăng năng lượng rằng B sputtered như vậy mà những thành phần của những tài liệu sputtered sau cuối sẽ trở lại AB .
Source: https://datxuyenviet.vn
Category: Blog
